Os Bicos Cerâmicos Fotovoltaicos são peças cerâmicas de precisão para distribuição de gás e pulverização química na fabricação fotovoltaica. Eles são usados em equipamentos CVD e PECVD, sistemas de gravação-úmida e conjuntos de entrega relacionados onde o bico faz parte do caminho do-fluido do processo.

Principais vantagens

Precisão do furo de ±0,01 mm

A precisão do diâmetro do furo é de ±0,01 mm. Em um conjunto de distribuição de gás ou líquido com vários-bicos, o controle de cada passagem para essa faixa reduz a variação entre os bicos e permite um fluxo mais consistente em toda a matriz.

Ra Menor ou igual a 0,2 μm Superfície Interna

A rugosidade da superfície interna é Ra menor ou igual a 0,2 μm. Uma parede mais lisa deixa menos pontos para partículas ou resíduos químicos se acumularem dentro de passagens estreitas, o que ajuda a retardar a restrição gradual do caminho do fluxo.

Envelope de processo quente e corrosivo

A temperatura máxima de trabalho é de 1.200 graus ou 1.500 graus, dependendo da cerâmica selecionada, e os bicos são especificados para resistir à maioria dos gases ácidos e alcalinos. A escolha do material pode, portanto, ser baseada tanto na temperatura operacional quanto no meio do processo.

Personalização

Material

As opções de materiais são 99% de alumina e carboneto de silício.

Comprimento e interface de montagem

O comprimento total é feito de acordo com o desenho do cliente. Ressaltos, flanges, furos de montagem e outros detalhes de localização podem ser adicionados para combinar com a interface do equipamento.

Geometria de Saída e Fluxo

O desenho ou protótipo aprovado pode definir o layout do furo, a direção da saída, a geometria da pulverização e configurações de vários-furos.

Especificações

Parâmetro	Especificação
Tipos de materiais	99% de alumina, carboneto de silício
Precisão do diâmetro do furo	±0,01 mm
Rugosidade da Superfície Interna (Ra)	Menor ou igual a 0,2μm
Comprimento do bico	Por desenho do cliente
Máx. Temperatura de trabalho	1200 graus (Alumina) / 1500 graus (Carbeto de Silício)
Resistência à corrosão	Resiste à maioria dos gases ácidos e alcalinos

Controle de qualidade

O tamanho do furo é verificado após a usinagem. A passagem interna também é inspecionada quanto a bloqueios, danos nas bordas e condições de superfície antes que o bico se mova para verificação funcional.

O teste de fluxo confirma que a passagem finalizada está aberta e fornece um canal consistente. Dimensões externas, detalhes de montagem e faces de vedação ou localização são verificadas separadamente em relação ao desenho.

Antes de embalar, os bicos são verificados quanto à aparência, quantidade aceita e limpeza. Os registros de inspeção ficam com o lote, a inspeção-de terceiros pode ser organizada e os bicos e as faces de precisão são separados na embalagem.